CVD（化學氣相沉積法）製備鎢管的硬度（2）

不同沉積溫度條件下（500℃-700℃），採用CVD（化學氣相沉積法）製備所得的鎢管，在經溫度為1200℃、保溫時間為1h的真空退火處理後，鎢管截面顯微硬度的測量結果與未經退火處理的測量結果的對比顯示，經退火處理後的鎢管硬度下降且鎢管截面硬度值的分佈趨於均勻。得益于退火處理，鎢管的殘餘應力（由膜層沉積生長過程中柱晶相互擠壓和銅基體收縮造成的）降低了。由此可知，CVD製備鎢管的硬度可達較高（500-800HW）。

 

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