化學氣相沉積法製備鎢管

以高純WF6和高純H2為原料，採用CVD（化學氣相沉積法）製備鎢管，其沉積溫度控制在500-700℃。

鎢管的製備過程為：

WF6和H2發生化學反應，WF6還原為鎢原子，在沉積仿形基體上獲得鎢沉積層。

該過程結束後，通過在真空爐中將基體熔化或是通過化學腐蝕獲得沉積鎢管，其形狀取決於沉積基體的形狀，尺寸精度可控。

然後，用密度測量儀測量產品的密度；

用顯微硬度計測試其顯微硬度；

用萬能材料試驗機測量產品的抗拉強度；

用金相顯微鏡進行金相觀察，並用數碼相機採集金相圖片；

用螢光X射線譜和能譜儀對沉積成分和氟化物殘留物進行分析；

用衍射儀分別測量產品表面的切向、軸向和產品端面的徑向的殘餘應力。


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