化學氣相沉積法製備鎢管性能研究概述

鎢管的製備可以採用CVD（化學氣相沉積法），以WF₆、H₂為原料氣體。

CVD技術是製備純鎢製品的重要方法之一。在1970年末，國外就已經有採用此技術製備高純度及高密度鎢製品的相關報告。近年來，中國也漸漸在開展CVD技術製備鎢組織、性能、結構及其塗層工藝等方面的研究。

不同的沉積溫度（700℃，600℃，500℃）所制得的鎢管的密度、純度、殘餘應力、顯微硬度和鎢管強度各不相同。

用CVD製備的鎢管的性能：

高純度：＞99.7％；
高密度：＞19g/cm³；

抗拉強度範圍：300-500Pa，與常規方法製備鎢棒退火態抗拉強度相當；

沿鎢管半徑及圓周方向存在較大的殘餘應力；

採用CVD制得的鎢管具有純度高和緻密度高的特點；

隨著鎢管半徑（4-21mm）和沉積溫度的不同，顯微硬度的值的範圍在500-800HV之間。


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