鎢酸粘度影響三氧化鎢薄膜氫敏性能

用不同粘度的鎢酸製備的三氧化鎢薄膜由於膜厚的不同，對氫氣的敏感回應性也不一樣，以下是鎢酸粘度影響三氧化鎢薄膜氫敏性能的分析：

鎢酸溶液粘度（mpa.s）	80	180	213（濺射後膜中心開始有些龜裂）	244	320	400（膜龜裂很嚴重）
通入0.2%H2透光率的變化值（%）	11.8	34.7	35.6	37.9	42.4	20.7

由以上表格資料可以看出，當鎢酸粘度過小或過大時，其製備的三氧化鎢薄膜的氫敏性能都不太好。粘度過小則製備的膜太薄，吸氫能力很容易飽和，故氫敏效果不佳；粘度太大則經退火處理後薄膜很容易龜裂，氫敏效果也不理想，且不能長期穩定保存。可見，應控制好鎢酸的粘度，以確保製備出優質的三氧化鎢薄膜。

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