退火溫度影響三氧化鎢薄膜氫敏性能

詳細內容: 分類：鎢的知識; 發佈於：2014-09-01, 週一 11:53; 作者 liwj; 點擊數：319

在三氧化鎢薄膜製備的過程中，受到很多因素的影響，退火溫度屬於其中一個，以下介紹退火溫度對三氧化鎢薄膜氫敏性能的影響：

表1-1 退火溫度對三氧化鎢薄膜氫敏性能的影響：

退火溫度（℃）	100	200	300	400	500
對0.2%H2的敏感性	40.3%	35.0%	12.7%	5.3%	1.2%

從以上表格資料可以看出，退火溫度越高，薄膜氫敏感性越差。經高溫（＞400℃）退火溫度超過後，薄膜由無色透明變成藍色，對氫氣幾乎沒有回應。這可能是因為退火溫度越高，三氧化鎢薄膜結構越緻密，對氫氣的吸附越困難。而當退火溫度＞400℃後，薄膜物質由非晶態變成結晶態，結構的變化導致薄膜的顏色變深，因此氫敏性能較差。

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