半導體傳感器用納米氧化鎢

半導體傳感器之所以選用低維度納米氧化鎢顆粒來作爲敏感材料，是因爲該顆粒具有純度高、比表面積大、粒徑小、分布均勻、表面乾淨、松裝密度低、易于分散、氣體敏感性優异等優點。更通俗地說，相對于傳統的氣體敏感材料而言，使用納米WO3顆粒製造的氣敏材料的響應速度更快、選擇性能更好，且對生態環境更爲友好，所以適合用來檢測酒精和二氧化氮等氣體。

半導體氣體傳感器是利用氣體在半導體表面的氧化還原反應導致敏感元件電阻值發生變化而製成的，是氣體傳感器中常用的一種類型，被廣泛應用于工業、化工、電子、電力、機床、石油等多個領域中。

其工作原理是：當半導體器件被加熱到穩定狀態，在氣體接觸半導體表面而被吸附時，被吸附的分子會在物體表面自由擴散，失去運動的能量，一部分分子被蒸發掉，另一部分殘留分子産生熱分解吸附在物體表面。當半導體的功函數小于吸附分子的親和力，則吸附分子將從器件奪走電子而變成負離子吸附；如果半導體的功函數大于吸附分子的離解能，吸附分子將向器件釋放出電子，而形成正離子吸附。當氧化型氣體吸附到n型半導體，還原性氣體吸附到p型半導體上時，將使半導體載流子减少，而使電阻增大。

納米氧化鎢是一種n型半導體材料，所以常用來吸附氧化型氣體，如氧氣、二氧化氮、一氧化氮等。

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