薄膜型氣敏元件用WO3薄膜

WO3薄膜是一種n型半導體，也是一種極佳的薄膜型氣敏元件，具有一致性好、對氣氛的敏感性好、回應快、成本低等優點，很適合作為氣體感測器。研究表明，WO3基薄膜型氣敏元件對NOx、SOx、H2S等氣體都具有較好的敏感特性和選擇性。

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WO3薄膜通常採用溶膠-凝膠法製備得到。因為溶膠-凝膠法具有許多其它方法無法比擬的優點，例如，可以方便地通過控制製備條件來控制薄膜的厚度、粒徑以及其組成，而且，該製備方法所需的設備簡單，熱處理溫度低。

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