射頻等離子球化法製備超細球形鎢粉

近年來，隨著科學技術的發展，對原料鎢粉不斷提出新的特殊要求，球形鎢粉由於其優良的特性廣泛的引用於多孔鎢材料的製備、熱噴塗以及注射成形等粉末冶金工藝中。用球形鎢粉製備的多孔鎢具有更均勻的孔隙，目前正逐漸取代常規鎢粉，用於製作多孔鎢部件，如大功率脈衝微波管的陰極、電子管的鋇鎢陰等。

目前國內外製備球形鎢粉主要是採取射頻等離子球化法，此法製備的鎢粉球形度高，但由於鎢粉團聚，導致球化後顆粒長大，難以制得細微性小於10μm的球形鎢粉。因此，如何獲得粒徑分佈均勻球形鎢粉日益受到了科技工作者的重視。

為了能夠製備出球形度高，表面光滑，分散性好，細微性均勻的球形鎢粉，有技術人員對射頻等離子球化法進行升級改進，其過程包括：

1.氣流分散與分級

將原料粉末送入氣流磨中研磨，得到分散性好、細微性分佈均勻的粉末。氣流磨的分選輪轉速為2500~7000轉/分鐘，研磨腔壓力為0.1 MPa ~1MPa，送粉速率0.1~20kg/小時，各參數依原始粉末而定；

2.射頻等離子球化

將步驟1中收到的粉末通過射頻等離子球化裝置球化，其主要工藝參數為：功率50~100KW，氬氣工作氣流量20~60slpm，氬氣保護氣流量50~100slpm，系統負壓800~1500mm水柱，送粉氣流量2~10slpm，送粉速率為10~50g/min。

改進後的流程利用氣流衝擊分散與射頻等離子體球化相結合，解決超細鎢粉易團聚使得球化後粉末長大的問題，制得了細微性10μm以下，球化率100%，表面光滑，細微性分佈均勻，分散性好的超細球形鎢粉。

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