濺射的機理。根據動能轉移理論認為離子必須要擁有一定的動能，即一定的速度去碰撞靶材料，才能使其表面濺射出原子。碰撞時，離子將動能傳遞給被碰撞的原子，只有當動能的能量大於靶材原子之間的結合能，原子才能從靶材表面濺射出來。簡單的理解這就好比生活中拿著石鎬去敲擊石頭，只有當你力氣達到一定的程度才能從石頭表面敲下小石子，石鎬即為離子，石頭為靶材、小石子為濺射出的原子。經過理論分析得出以下幾點：（1）原子濺射率會隨離子動能增加而提高，但當動能增加到一定的程度時，濺射率反而會減少；（2）當離子動能低某一個數值時，靶材表面將不再發生濺射；（3）發生濺射是具有方向性的，濺射方向會根據離子的入射方向改變而變化；（4）如果採用品質小的電子來替代離子轟擊靶材料，即使具有極高的動能，也不會發生濺射現象。