六氟化钨

六氟化钨是钨和氟形成二元化合物WF₆，在钨的氟化物中，WF₆是唯一稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是用来制备高纯钨粉和作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料。

六氟化钨在不大于2.0℃时为白色固体，在2.0-19.9℃之间呈淡黄色液体，在不小于17.5℃时为无色气体，其密度为3.44g/cm^3，相当于空气的12.9倍，是已知最重的气体之一，WF₆的相对分子质量为297.84，其分子在常温下具有对称的正八面体结构，并具有抗磁性。

制取六氟化钨的方法通常采用350-400℃以下流动的氟直接氟化金属钨。

W+3F₂=WF₆

反应是通过使氟气流过含金属钨的流化床或固定床来完成的。为促进气—固相的良好接触， 通常将金属钨加工成粉末状。反应结束后，以液体形式收集WF₆。

六氟化钨主要被用于化学气相沉积法提取纯钨，利用钨氟化物的熔点和沸点低的特点（熔点 2.3℃，沸点19.9℃），采用精馏或蒸馏的方式提纯，并在一定温度下被H₂还原，将生成的钨沉积在特定的基底上，沉积完成后去除基底材料获得致密钨坯，这种方法已成为现代工业提取高纯钨的主要途径之一，高纯钨是广泛用于大规模集成电路的金属材料。

此外，WF₆还有许多非电子方面的应用，例如通过CVD技术使钨在钢的表面上生成坚硬的碳化钨可用来改善钢的表面性能。它还可用于制造某些钨制部件，如钨管和坩埚等。此外 ， WF₆还被广泛用作氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等

随着六氟化钨在半导体工业中得到广泛应用，这些年来，电子工业对六氟化钨的需求与日俱增，六氟化钨的市场价格水涨船高。

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