中船重工力争2020年六氟化钨产能世界第一

中国船舶重工集团公司第七一八研究所副所长郭建增接受采访时表示，研究所将努力打造世界重要的电子特种气体供货商，为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。

电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称，被称作电子工业的“血液”，是大规模集成电路、液晶面板行业生产 的关键材料。 然而，电子特种气体过去长期被国外企业垄断，严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善，影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。

郭建增介绍，中船重工第七一八研究所在国家重大专项的支持下，经过多年军民融合、持续技术创新，相继研制出高纯三氟化氮、六氟化钨等系列特种气体产品，打破国外企业十几年的垄断，结束了该领域相关产品的高价时代，主要产品三氟化氮市场价格大幅下降，改变了我国高纯特种气体长期依赖进口的不利局面。

目前，七一八研究所三氟化氮、六氟化钨生产规模均位居国内第一，三氟化氮、六氟化钨的国内市场覆盖率超过95%，国际市场覆盖率达50％；其他7种气体及10种混合气体已研制成功并具备批产条件，得到了国内半导体龙头企业的测试认证。

据介绍，七一八研究所将加快三氟化氮、六氟化钨等主要气体产能建设，加大国际国内两个市场开拓力度，加快拓展半导体行业大宗气体现场制气业务，力争在2020年前将三氟化氮、六氟化钨等4种气体产能及市场占有率实现世界第一。

中船重工第七一八研究所创立于1966年，主要从事高能化学、三防技术、制氢及氢能源开发、特种气体、精细化工、石油测井、环境工程、气体分析、自动控制、核电消氢、变频节能、空气净化、医用制氧等方面的专业研究设计。

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