三酸化タングステンフィルム研究現状と発展見通し

今まですでに多くの科学者を三酸化タングステンフィルムの研究をするし、三酸化タングステンフィルムの調製する方法は：蒸発法、スパッタリング法、ゾルゲル法、電子ビーム蒸発法、化学蒸着法、陽極酸化法、スプレー熱分解、分子ビームエピタクシ法、原子層エピタキシャル成長法、電着、パルスエキシマレーザ蒸着法、イオンめっき法など、そのほとんどの方法は技術が複雑で、工程の条件が厳しく、応用は制限を受ける。しかしスパッタリング法と蒸発法など安定、便利、高速、フィルム均一などの長所を持つ。、ゾルゲル法の技術は簡単で、コストが低く、低温合成し、高度に化学均一性し（ドープ物質が膜において良く均一に分布する）、材料形状多様性などの長所を持ち、だから今を多く使うのは蒸発法、マグネトロンスパッタ法、ゾル・ゲル法。

今三酸化タングステンフィルムの研究に対して多くその電に変色して性能に集中する、そしてガスの変色性と光による変色性能の研究が少ない、三酸化タングステンフィルムは過去にもガスセンサーを使うし、しかし主に、抵抗変化によって気体濃度を確定する、半導体型センサを属する、応用時に電圧加熱が必要で、そして電磁波の妨害が大きくて、構造が複雑で、だからこのタイプの気体センサーの応用は大きく制限性がある。

水素と三酸化タングステンフィルムに触れた時、常温では色も変わる、明らかにフィルムのある光学性が変化しているから。水素は可燃性、爆発性ガス、常温と常圧で三酸化タングステンフィルム光学パラメータの変化を測定し水素濃度を確定する、としては、電気のパラメータは、加熱、加圧などの条件と電磁妨害などの条件と電磁干渉を避ける、それによって水素センサーの安全性、選択性を高める。

光ファイバーセンサーは耐腐食性に優れ、電磁妨害能力が強く、感度が高く、長距離測定などの利点があります。だから三酸化タングステンフィルムで光ファイバ光学水素敏センサと光変色デバイスなどを作るのは重大な学術意義と広大な応用の見通しがある。

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