ナノ三酸化タングステン-ナノ敏感膜を調製する

過去にナノ三酸化タングステンの調整は主に敏感膜の上で、その調整の工芸もより成熟している。それは最も早く、1967年にアメリカ人Shaverによって報道で、現の段階では違い調製方法と工芸を採用して敏感膜のガス敏性能を高めることに決心する。例えば混じりけ、敏感膜の粒径を下げて、表面の解媒なでである。

海外の研究者はスパッタリング法で純と七種類の貴金属を混ぜて敏感膜を調整した。ガス敏の性能テストの結果を表し、敏感膜はH2S、NO 2とNH3がよくの感度を現れる。また、中温（110℃）の条件の下で、AgとAu混じりけのフィルムはH2SとNH3の検出に適する。そして、外国人の研究者は酸素の雰囲気で熱蒸法で三酸化タングステンの敏感膜を調して、厚さが約20μmである。ガス敏のテストの結果を表明して、サンプルは250℃にNO 2を検査されて、そのNH3とNOの感度が高くない。同時に、彼らも粒を減らし金属の酸化物のフィルム感度と選択を高めるの重要な方法を強調する。

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