【酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究結論2】

 

(2) 酸化タングステン膜は、通常非品質である。しかし直流反応性スバッタ膜及び400 以上に加熱した基板上に形成された真空蒸着膜の構造は多結晶W03 であり、酸化タングステン粉末をターゲットに用いる高周波スパッタ法では形成条件を調整するとことにより、化学量論的組成より酸素が不足したWO拙から W03 の組成を持つ微細結晶が形成される。

 

(3) 非晶質あるいは微細W03 結晶構造のスバッタ酸化タングステン膜のエレクトロクロミック特性は、スバッタ雰囲気の酸素濃度と全ガス圧に依存し、化学量論的組成から外れ電子注入による格子歪みが大きい比抵抗107-109Ωcm の膜で高い着色効率と速い着色応答が得られる。

 

(4) 酸化タングステン膜の』性質以外に着色過程を律速する因子は、透明導電膜のシート抵抗、酸化タングステン膜の厚さ，印加電圧であり、消色過程を律速する因子は、透明導電膜シート抵抗と注入電荷量である。

 

 

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