【酸化タングステン薄膜のエレクトロクロミズムに関する研究内容１】

 

本研究は、酸化タングステン膜の物性とエレクトロクミック特性、エレクトロクロミズムの律速過程と着色飽和現象並びにエレクトロクロミック素子の構造及び動作条件の最適設計に関するものである。

 

1.「蒸着酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性」：三酸化タングステン粉末を減圧雰囲気中で加熱蒸発させ形成される酸化タングステン膜の性質の膜堆積時の基板温度依存を明確にした。

 

2.「高周波スバッタ酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性」：三酸化タングステン粉末を加圧成形したターゲットを用い、高周波スバッタ法により形成される酸化タングステン膜の性質が、如何にスパッタ雰囲気の酸素濃度及び全圧力に依存するかを明確にし、膜の組成と形成条件の関係について考察した。

 

3.「高周波反応性スバッタ酸化タングステン膜の物性とエレクトロクロミック特性」：金属タングステンをターゲットとし、高周波電源装置を用いて反応性スパッタ法により形成される酸化タングステン膜の性質が、如何にスパッタ雰囲気の酸素濃度及び全圧力に依存するかを明確にした。

 

 

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