タングステンは水蒸気(恒温槽内の湿気)のみで酸化させる事ができる。でも、酸化膜厚や時間がネックになることがある。室温でわずかに酸化（変色）する約400〜500℃で酸化しはじめ、約700℃以上でWO3を形成し、急激に酸化する。赤熱状態ですみやかに酸化する。

 

大気中室温で表面に薄い酸化皮膜をつくって曇りを生じ、特に湿度の高い所では皮膜の形成が早い。

 

薄膜なので、酸化タングステン層の抵抗値は正確に測定は難しいと思われる。酸化タングステン自体は酸化の状態にもよるが、導電性を持つようになる。実際に酸化タングステン線も普通のタングステン線と同レベルで導通する。

 

タングステンは、徐々に酸化して光沢を失う。極端に錆びてぼろぼろになるようなことは通常はない。ただし、高温多湿、結露、手垢などの汚れなどの条件らな、酸化が加速されるので、注意が必要すべきである。一週間以上保管する場合は湿度60%以下、温度28℃以下、化学薬品類から隔離された環境を推奨しておる。