NO2ガスセンサーに適用されるWO3薄膜

WO3薄膜は、高感度で選択的なNO2ガスセンサーの製造に最適な検知材料と見なされています。一部の専門家は、ソーダ石灰ガラス基板上に直接成長させたWO3薄膜を使用して、シンプルで手軽な水熱技術によってシード層の支援なしにNO2ガスセンサーを製造しています。

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http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html

専門家によると、ガラス基板上のシード層の支援なしでのナノ構造のWO3薄膜の堆積はほとんど報告されていません。彼らは、このようなWO3フィルムサンプルを3〜7時間のさまざまな堆積時間で合成し、X線回折、ラマン分光法、電界放出走査型電子顕微鏡法、透過型電子顕微鏡法、UV-vis分光法、およびBrunauer-Emmett-Teller法でこれらのサンプルを特徴付けました。 。表面の形態的および構造的特性は、板厚が90〜150 nmの範囲にある合成されたWO3薄膜の2次元（2D）ナノプレートのような構造を示し、それぞれ斜方晶構造を有していました。さらに、WO3の2Dナノプレートは、比較的低い動作温度で有毒なNO2ガスに対して5 ppmで約10のガス応答を示しました。合成されたままのWO3ナノプレートの新しい合成経路と検知動作は、費用効果の高いガスセンサーの製造の有望な候補を明らかにしました。

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