三酸化タングスタンフィルムの光透過性

WGZ-8複光束紫外-可視分光光度計を運用してフィルムの光透過性分析をすると、入射光の波長の範囲は200～800nmで、光透過率は0%~150%。ゾルゲル法で調製した三酸化タングスタンフィルムの透過スペクトルは最大の光透過率を表現してその波長:85.3%、556nm。ピークとトラフは350~600nmの波長範囲の中、ピークトラフの光透過率差分は4.4%、300nmの波長の範囲内で光透過率ほぼゼロである。しかも、マグネトロンスパッタ法で調製した三酸化タングスンタンの透過スペクトルの中で最大の光透過率とその波長範囲はそれぞれ:90.1%、572~582nmで、ピークトラフ在350～650ｎｍの波長で、ピークトラフの光透過率差分約21.2%である。

マグネトロンスパッタ法で調製したフィルムの温度が450℃の時に、フィルムの光透過率平均に約8～10％を下落し、プロファイルとピークはほとんど変化しない。焼鈍温度は500℃の時、フィルムの光透過率平均に約8%を下落し、ピークとプロファイルはあまり変わらない。

マグネトロンスパッタ法とゾル・ゲル法は調製した三酸化タングステンに比べて、光透過率の差異は大きくない。しかし、マグネトロンスパッタスペクトルのピークとトラフは更に明らかで、すなわちマグネトロンスパッタ法で制備したフィルムは違う波長光の吸収の差異がゾルゲル法で調製の三酸化タングステンフィルムより大きい。

ゾルゲル法は焼鈍の前後で違う温度に透過スペクトルを分析する。ゾルゲル法で調製したの三酸化タングステンフィルムに対して、焼鈍の温度が高ければ、フィルムの光透過率が低いほど。300℃下で焼鈍30min後、フィルムの光透過率は平均10％を下落し、ピークトラフの波長の位置に紫外線バンド移動するの現象があるが、明らかではありません。380℃で焼鈍後フィルムの光透過率は20％～25％を低下し、偏赤外部分の光透過率低下で特に著しい。ピークの数は変わらない、トラフの光透過率の差がより小さい。400℃で焼鈍後で、フィルムの光透過率は25％～30％に下落し、偏赤外部分の光透過率の下降は特に著しい。

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