[korean] FTO 투명 전도성 유리용 WO3 박막

WO3 필름은 전기변색 필름입니다. 필름 두께가 구조 및 전기변색 성능에 미치는 영향을 연구하기 위해 일부 전문가들은 순도 99.95%의 금속 텅스텐을 타겟 물질로 사용하고 펄스 DC 전원 공급 반응성 마그네트론 스퍼터링을 통해 코팅 장비를 사용하여 FTO 투명 전도성 유리(사각형 저항 ~20Ω) 기판에 텅스텐 삼산화 필름을 증착했다고 보고되었습니다.

자세한 내용은 다음 웹사이트를 방문하세요.

http://tungsten-oxide.com/korean/index.html

그 중 FTO 전도성 유리가 기판입니다. 깨끗한 물로 표면의 먼지를 날려버린 후, 세제와 아세트산을 사용하여 기판 표면의 기름을 닦아낸 후, 탈이온수로 헹굽니다. 마지막으로 고압 건조 질소를 사용하여 기판 표면에 남아 있는 수분을 날려버립니다. 전문가들은 기판의 이동 속도와 음극 아래에서 앞뒤로 움직이는 횟수를 제어하여 50nm, 100nm, 150nm, 200nm, 250nm, 300nm 등 다양한 두께의 텅스텐 산화막을 제조했습니다.

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