[korean] 전기변색: Ti 도핑된 텅스텐 삼산화물 박막

전기변색에 대해 말하면 많은 사람들이 WO3 필름을 떠올릴 것이고, 많은 사람들이 Ti 도핑된 텅스텐 삼산화물 필름을 떠올릴 것입니다. 예를 들어, 일부 전문가가 박막의 구조적 특성에 미치는 다양한 산소 분압의 영향을 연구하기 위해 Ti가 도핑된 WO3 박막을 제조했던 걸 기억합니다. 구체적인 준비 단계는 다음과 같습니다.

자세한 내용은 다음 웹사이트를 방문하세요.

http://tungsten-oxide.com/korean/index.html

텅스텐-티타늄 합금(질량 기준 6%의 티타늄 함유)을 타깃으로 사용하여, 펄스 DC 전력 반응성 스퍼터링을 통해 FTO 투명 전도성 유리(시트 저항 ~20Ω) 기판에 Ti-도핑 WO3 박막을 증착했습니다. 스퍼터링 전에 배경 진공을 4.5*10-4Pa 이하로 배기하고, 고순도 아르곤(99.9% Ar)을 작동 가스로, 고순도 산소(99.9% O2)를 반응 가스로 사용하였으며, 기판 온도는 350℃, 작동 가스 압력은 1.7Pa로 고정하고, O2 유량을 7sccm, 9sccm, 13sccm, 15sccm으로 변경하여 산소 분압이 다른 Ti 도핑 WO3 박막을 증착하였다. 작동 가스 압력은 고정되어 있으므로 O2 유량이 증가하면 Ar 분압이 감소하고, 단위 시간당 타겟 표면을 폭격하는 Ar+ 수가 감소하고, 스퍼터링되는 W 원자 수가 감소하여 증착 속도가 감소합니다.

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