コンプリメンタリ型全固体エレクトロクロミック窓用三酸化タングステン

三酸化タングステンは三酸化タングステン薄膜の製造に使用でき、さらに相補型全固体エレクトロクロミック窓の組み立てに使用できる。では、エレクトロクロミック層として機能するWO3薄膜はどのように製造すればよいのでしょうか。電子ビーム蒸発法により作製した専門家がいる。

詳細については、次のページを参照してください。

http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html

電子ビーム蒸発技術によるWO3薄膜の製造方法

純WO3粉末の圧結直径1 cmの円柱を分析し、蒸発源として黒鉛るつぼ内に置いた。基板は正方抵抗200Ω/ITO膜導電性ガラスであり、10%硫酸を10分間浸漬した後、脱イオン水で数回超音波洗浄し、その後乾燥した。基板温度は80℃、蒸発成膜速度は9 nm/min、通常の蒸発時間は15 minであった。蒸発したばかりのW 03フィルムは青色を呈していた。

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