ガスセンサ用の黄色酸化タングステンナノワイヤ

黄色酸化タングステンナノワイヤは、ガスセンサを準備するためにしばしば使用されるように優れたガス感度を有する。専門家によると、黄色の酸化タングステンナノワイヤおよびシリコンナノワイヤを組み合わせて、シリコンナノワイヤ−酸化タングステンナノワイヤ複合構造を得ることができ、その界面が均一なヘテロ接合を形成する。no 2ガス中では，ヘテロ接合の空乏層の幅の増加はガス感知性能の向上に重要な効果を持つ。

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http://www.tungsten-carbide.com.cn/Japanese/index.html

シリコンナノワイヤの調製—酸化タングステンナノワイヤ複合構造

いくつかの専門家は、n型単結晶シリコンウエハ上に高度に配列されたアレイを有するシリコンナノワイヤを準備するために、金属支援化学エッチングとナノ球自己集合の組み合わせを使用する。続いて、マグネトロンスパッタリング法によりシリコンナノワイヤ表面に金属タングステン膜を堆積し、管炉内で熱処理を行うことによりシリコンナノワイヤ−酸化タングステンナノワイヤ複合構造を作製した。

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