タングステンプローブの接触抵抗

タングステンプローブの接触抵抗は半導体製造プロセスにおけるウエハテストの信頼性に影響する。したがって、テスト結果の精度を向上させるために、タングステンプローブの接触抵抗を試験する方法がある。

詳細はこちらをご覧ください。

http://www.tungsten-carbide.com.cn/Japanese/index.html

タングステンプローブの接触抵抗を検出する方法

検査されるウェーハを提供する、パッドはウェーハの上に形成される。そして、パッドは電源VDDに接続しているタングステンニードルはパッドに接触し、電源VDDは接地される電源は、プローブに対応する測定電圧を得るために複数の測定電流をプローブに供給する測定電流と測定電圧に応じてプローブの接触抵抗の抵抗値Rを算出する。プローブとパッドとの実際の接触抵抗は、ウェハ自体の構造を用いて簡単な工程で得られる。これは、歩留り解析を助け、ウェハプロービングの精度を向上させる。

チューリングプロセスはテストされるべきです。

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