WO3をO3ガスセンサーに適用

WO3は、センサー上の三酸化タングステン膜が測定ガス（O3）に接触した後の表面コンダクタンスの変化を検出することにより、O3ガスセンサーを製造するための最適な検知材料です。 ご存知のように、O3は消毒や滅菌、下水処理などの面で広く使用されています。

詳細については、以下をご覧ください。

http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html

ただし、空気中の過剰なO3（相対体積分率が10 ^ -7を超える場合）は、人体に害を及ぼすだけでなく、衣類や建築材料などの他の材料にも損傷を与えます。 そしてそれは地球環境問題を引き起こしています。 したがって、一部のシーンでは、空気中のO3を監視することが必要な手段です。 空気中のO3に対して良好な感度を持つWO3ベースのO3ガスセンサーがバックグラウンドで開発されました。 一部の専門家は、CoドープWO3ベースのガスセンサーを用意しています。 結果は、共ドーピング後、WO3がn型からp型に変化し、O3ガス中での導電性を改善することを示しています。

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