[Korean] 일렉트로 크로 믹 필름 : 비정질 텅스텐 산화물 필름

일부 연구자들은 평면 마그네트론 반응성 스퍼터링 법에 의해 투명 전도성 필름을 갖는 유리 기판 상에 일렉트로 크로 믹 박막 (비정질 산화 텅스텐 산화물 박막)을 증착하여 연구 한 것으로보고되었다.

자세한 내용은 다음을 방문하십시오.
http://tungsten-oxide.com/korean/index.html

X- 선 회절 분석 결과, 실온에서 수득 된 필름이 비정질 인 것으로 나타났다. 전해질로서 0.2N 농도의 HCl을 사용하여, H + 주입 및 추출 후의 비정질 산화 텅스텐 박막의 광학 특성을 전기 화학적 방법 및 이러한 변화와 필름 제조 파라미터 사이의 관계에 의해 연구 하였다. 산화 텅스텐 막을 증착시키기 위해 거의 최적의 공정 조건이 얻어졌다. 순수한 산소 분위기에서, 스퍼터링 전력 밀도 1.2 W / cm2 및 스퍼터링 가스 압력 1.3 Pa에서, 50 회의 전기 화학 사이클 후 비정질 산화 텅스텐 필름의 표백 및 착색 된 상태의 가시광 투과율이 얻어졌다 그 차이는 약 0.57이며, 전기 화학적 사이클의 색 변화 수명 또한 길다. 광전자 분광학 분석에 따르면 H + 주입 후 W5 + 및 W4 +가 유색 필름에 나타났다.

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