化学气相沉积法制备钨制品试生产线调试成功

近日，由七一八所与北京理工大学联合研发的“化学气相沉积法制备钨制品”项目中试生产线调试成功，并在全国首次采用化学气相沉积法试制出高纯钨坩埚样品。

该项目是“七一八所•北京理工大学气相沉积特种材料研发中心”的首个启动项目，特种气体工程部历时近一年完成了生产工艺设计及中试生产线的建设。该项目的成功调试是七一八所开展校企合作的又一成果。

此次调试成功，标志着整个研究团队在化学气相沉积制备难熔金属材料产业化与关键技术研发方面取得了重要突破，为生产线正式投运打下了坚实基础。对形成以钨坩埚、钨板、高纯半导体离子注入部件等一系列高纯钨制品生产领域，开拓难熔贵金属材料市场，拓宽七一八所特种材料产业发展方向具有重大意义。

化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。目前已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

化学气相沉积法制备钨制品是以WF6和H2为原料，通过气相反应成功地沉积出多种异型致密钨制品，具有设备简单，工艺稳定可靠，且制品质量较高等特点。钨的化学物理特性使钨制品成为某些工业产品中不可缺少的零件，化学气相沉积是获得价廉质好的钨制品的一种工艺方法，特别适合于异型制品的制备。

• < 前へ
• 次へ >