三氧化钨薄膜

气敏传感器最重要的组成部分之一就是气敏元件。传感器的灵敏度、选择性很大程度上依赖于气敏元件的性能,一般的气敏元件都是薄膜材料。对三氧化钨薄膜的研究20年前就已开始,大多数是对电致变色、光致变色、电化学、气敏性等性能的研究。
 
对于氢敏传感器而言,三氧化钨薄膜具有巨大潜力,当三氧化钨与氢气接触后最直观的变化就是薄膜由透明变为蓝色,同时可以用各种光学仪器测得薄膜光学性能发生了相应变化,所以三氧化钨薄膜是较好的氢敏材料,在掺杂一定的稀有金属后能大大地改善三氧化钨薄膜的氢敏特性,例如掺杂钯、铂等。三氧化钨薄膜不仅能用作氢敏传感器,掺杂不同元素后在不同的条件下还可用作其它气体如NH4、NO2、H2S、O3、O2等的敏感材料。
 
三氧化钨薄膜材料是一类应用非常广泛的功能材料,具有十分广阔的应用前景。该材料可用于电致变色显示、电致变色灵巧窗以及电致变色无眩反光镜等。在不同的应用领域,对电致变色薄膜材料的各项性能有不同的要求。
 
 
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