热蒸镀工艺制备三氧化钨导电薄膜电极

导电薄膜电极是有机电致发光器件（OLED）的基础构件，其性能的优劣直接影响着整个器件的发光效率。其中，透明导电薄膜是把光学透明性能与导电性能复合在一体的光电材料，由于其具有优异的光电特性，可广泛应用于太阳能电池，LED，TFT，LCD及触摸屏等屏幕显示领域。

随着器件性能要求的提高，用于作为器件阳极的透明导电膜的性能也在要求提高。对于器件出光效率的需要，很多研究机构都在设法在阳极与基板之间插入散射层。 高性能的器件，还要求阳极有较高的表面功函数，使其与其他功能层的能级相匹配，降低势垒，提高载流子注入效率，最终达到高的电光效率。

基于此，有企业采用一种有机电致发光器件，其包括依次层叠的阳极、发光层以及阴极。其中阳极包括依次层叠的衬底、银层及三氧化钨层，银层所采用的材料为直径为50nm～500nm的银纳米线，三氧化钨层采用直径为8nm～80nm的的纳米线。

在发光器件中，银层及三氧化钨层采用热蒸镀工艺制备：

1、将衬底通过酸处理，接着用丙酮和乙醇超声清洗，烘干后将所述衬底放入 管式炉的石英管中； 设置管式炉的石英管的真空度为102Pa~103Pa，温度为350℃~700℃，然后向管式炉的石英管中通入惰性气体，所述惰性气体的流速为50cm3/min～180cm3/min；

2、先将银粉放置在舟中，将所述舟放置在管式炉的石英管中；所述银粉的蒸发时间为10分钟～40分钟，在所述衬底表面形成银层，停止蒸镀所述银层；

3、将三氧化钨粉放置在舟中，将所述舟放置在管式炉的石英管中；三氧化钨粉的蒸发时间为3分钟～20分钟，在所述银层表面形成所述三氧化钨层，停止蒸镀所述三氧化钨层，继续通入惰性气体冷却到室温；及 剥离所述衬底，得到所述层叠的银层及 三氧化钨导电薄膜电极。

上述导电薄膜通过在银层的表面沉积三氧化钨薄膜制备双层导电薄膜，导电薄膜做成纳米线的集合，具有较高的表面功函数，又能保证高的透光，有利于器件的出光效率提高，导电薄膜在470~790nm长范围可见光透过率88%~90%，方块电阻范围15~85Ω/□，表面功函数4.8~5.1eV；使用该导电薄膜作为有机电致发光器件的阳极，导电薄膜的表面功函数与一般的有机发光层的HOMO能级之间差距较小，降低了载流子的注入势垒，可显著的提高发光效率。

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