高纯六氟化钨制备方案

WF₆在室温下是一种无色的气体，其密度是已知气体中最大的。WF₆的相对分子质量为297.84，其分子在常温下具有对称的正八面体结构，并具有抗磁性。 目前工业上主要采用金属钨与氟气或NF3直接反应的方法来制备WF6，反应通常 在高于350℃的条件下进行。为减少副产物的生成，金属钨在使用前应先进行脱水和脱氧处理。

现有常规工艺需通过使氟气流过含金属钨的流化床或固定床来完成的。为促进气一固相的良好接触，还需将金属钨加工成粉末状。反应结束后，以液体形式收集WF₆。传统工艺在实际操作中氟气与钨粉接触不充分、反应器效率低等问题，为此，有研究人员提出了改变。

高纯六氟化钨的制取主要分为三道工序，

1、初步滤除HF。将WCl₆加入至WF6 中，再加热至 60℃及维持振动搅拌条件下和 HF 反应，达到去除 HF 的目的

2、去除轻组分杂质。利用WF6与各杂质组分熔点不同，在同一温度下的饱和蒸汽压也不同的特性，在精馏釜中对于易挥发性杂质也就是轻组分杂质进行分进行气体分离。

3、精馏提纯。对于非挥发性杂质也就是金属杂质的去除，主要对象是钼。由于钨和钼属于伴生矿，钨粉是制备初级WF6的原料之一，其中含有微量的钼，因此，所制备的WF6 中含有少量的六氟化钼，采用填料式精馏塔进行精馏是去除金属杂质较为有效的办法。实现净化后的六氟化钨产品纯度能达到99.999 %以上。

净化后的六氟化钨粉末再使用化学气相沉积法，其纯度将再一次提升，能轻易的达到5N以上纯度，这种方法简单，成本较低，产品进一步精制后可以用于电子产品生产。

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