高纯钨粉是指纯度高于99.999%以上的纯钨，一般标准为3N或4N，超纯钨粉是指纯度达到99.99999%和99.999999%的钨粉，一般标准为5N或6N。高纯钨及其硅化物主要用于超大规模集成电路作为电阻层、扩散阻挡层等以及在金属氧化物半导体型晶体管中作为门材料及连接材料等，市场价格昂贵。

六氟化钨是钨和氟形成二元化合物WF₆，在钨的氟化物中，WF₆是唯一稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是用来制备高纯钨粉和作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料。

在金属氧化物催化剂中， 三氧化钨因催化活性较高， 使用寿命较长及再生对其结构影响较小等特点使其在商业应用上受到广泛重视，三氧化钨是一种重要的催化活性材料，用WO₃既可以做主催化剂又可以做辅助催化剂 。

纳米三氧化钨是一种优良的 N 型半导体气敏材料，相较于传统材料，纳米三氧化钨气敏传感器，灵敏度高，响应速度和恢复速度更快更好，是近年来被研究最多的气敏原材料。

气敏元件传感器作为新型敏感元件传感器，被国家列为重点支持发展的对象，目前应用最广泛的是可燃性气体气敏元件传感器，己普及应用于气体泄漏检测报警和监控，从工厂企业到居民家庭，应用十分广泛。

薄膜敏感材料是研究和开发集成传感器和智能传感器的基础，纳米三氧化钨是一种很典型的 N 型半导体气敏材料，它具有较大的比表面积、稳定的化学性质、带隙较宽，对多种有毒气体都具有较好灵敏度，可以有效地提高气敏元件的灵敏度和响应速度，是良好的气敏薄膜材料。

薄膜敏感材料是研究和开发集成传感器和智能传感器的基础，纳米三氧化钨是一种很典型的 N 型半导体气敏材料，它具有较大的比表面积、稳定的化学性质、带隙较宽，对多种有毒气体都具有较好灵敏度，可以有效地提高气敏元件的灵敏度和响应速度，是良好的气敏薄膜材料。

传统材料应用于气敏传感器，其灵敏度比较低，响应速度和恢复速度均不是很好。近年来，具有良好光致变性能的纳米三氧化钨逐渐引起了科学家的研究兴趣。

三氧化钨（WO₃）是一种过渡金属的氧化物，它既是一种 n 型半导体材料， 也是一种“d⁰”氧化物，这种双重身份使其同时具备诸多特点，近年来，纳米三氧化钨作为一种潜能材料在各种应用领域特别是在气敏传感器方面引起了广泛关注。

近年来，三氧化钨作为一种潜能材料在各种应用领域特别是在气敏传感器方面引起了广泛关注，特别是纳米三氧化钨，可以制备合成国防中不可或缺的探测敏感系统，监测生物，原子核武器和化学物质，还可以为计算机系统提供纳米的虚拟的模拟训练系统，同时，还为高性能的通信系统提供了很多便利条件。