六氟化鎢

六氟化鎢是鎢和氟形成二元化合物WF₆，在鎢的氟化物中，WF₆是唯一穩定並被工業化生產的品種。它的主要用途是用來製備高純鎢粉和作為金屬鎢化學氣相沉積(CVD)工藝的原材料。

六氟化鎢在不大於2.0℃時為白色固體，在2.0-19.9℃之間呈淡黃色液體，在不小於17.5℃時為無色氣體，其密度為3.44g/cm^3，相當於空氣的12.9倍，是已知最重的氣體之一，WF₆的相對分子品質為297.84，其分子在常溫下具有對稱的正八面體結構，並具有抗磁性。

制取六氟化鎢的方法通常採用350-400℃以下流動的氟直接氟化金屬鎢。

W+3F₂=WF₆

反應是通過使氟氣流過含金屬鎢的流化床或固定床來完成的。為促進氣—固相的良好接觸， 通常將金屬鎢加工成粉末狀。反應結束後，以液體形式收集WF₆。

六氟化鎢主要被用於化學氣相沉積法提取純鎢，利用鎢氟化物的熔點和沸點低的特點（熔點 2.3℃，沸點19.9℃），採用精餾或蒸餾的方式提純，並在一定溫度下被H₂還原，將生成的鎢沉積在特定的基底上，沉積完成後去除基底材料獲得緻密鎢坯，這種方法已成為現代工業提取高純鎢的主要途徑之一，高純鎢是廣泛用於大型積體電路的金屬材料。

此外，WF₆還有許多非電子方面的應用，例如通過CVD技術使鎢在鋼的表面上生成堅硬的碳化鎢可用來改善鋼的表面性能。它還可用於製造某些鎢制部件，如鎢管和坩堝等。此外 ， WF₆還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學材料的原料等

隨著六氟化鎢在半導體工業中得到廣泛應用，這些年來，電子工業對六氟化鎢的需求與日俱增，六氟化鎢的市場價格水漲船高。

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