緻密鎢和高純鎢

緻密鎢和高純鎢是指純度高於99.99%以上的純鎢，一般標記為4N，高純鎢是指純度達到99.999%和99.9999%的鎢粉，一般標記為5N或6N，英文名為high-purity tungsten。緻密鎢、高純鎢及其矽化物主要用於超大型積體電路作為電阻層、擴散阻擋層等以及在金屬氧化物半導體型電晶體中作為門材料及連接材料等，市場價格昂貴。

緻密鎢和高純鎢的材料形狀可以是箔膜，薄片，靶材，細絲，絕緣線，直棒，圓管，粉末，單晶體等。緻密鎢和高純鎢的製備常用的方法有粉末冶金法和化學氣相沉積法。

粉末冶金法是指鎢粉經過成形後，加熱到其熔點下的某個溫度，通過物質遷移完成緻密化的過程，最終得到高純鎢坯，這種方法工序較少，成本相對較低。

化學氣相沉積法則是以六氟化鎢（WF₆）為鎢源，利用鎢氟化物的熔點和沸點低的特點（熔 點 2.3℃，沸點19.9℃），採用精餾或蒸餾的方式提純, 並在一定溫度下被H₂還原，將生成的鎢沉積在特定的基底上，沉積完成後去除基底材料獲得緻密鎢坯，這種方法工序簡單，也被廣泛使用。

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