納米氧化鎢感測器

氧化鎢是一種過渡金屬氧化物n型半導體。作為一種功能材料，近年來，大量的研究發 現鎢基氧化物除作為催化、電致變色、蓄電池電極、太陽能吸收材料和隱形材料之外，還具 有熱敏、壓敏和氣敏等半導體功能材料的特性。

氧化鎢納米晶膜在氣敏感測器、光催化、光 電導等方面的應用和研究正越來越多的引起人們的高度重視，尤其是在氧化物半導體氣敏感測器應用領域，氧化鎢基材料已被認為是檢測NOx、SOx、NH3、H2S等最有前景的新型氧化物氣敏材料之一。

氧化鎢納米線氣敏材料由如下方法製備：

(1)將1.0～1.5克鎢酸鈉溶於24～30毫升的去離子水中，在冰水浴中磁力攪拌1小時，形成無色透明的鎢酸鈉溶液；

(2)先向(1)中的溶液中緩慢滴加3.5～4毫升3M/L的鹽酸並不斷攪拌0.5小時，再緩慢滴加4.6～5.2毫升0.3M/L的草酸並繼續攪拌0.5小時形成淡黃色膠束溶液；

(3)將28～30毫升(2)中的膠束溶液轉入50ml反應釜並加入25～30克硫酸鉀攪拌均勻， 然後在180℃的溫度下水熱處理12～144小時；

(4)將(3)中的水熱產物經去離子水和無水乙醇反復洗滌後在65℃的空氣氣氛下充分幹 燥，即制得氧化鎢納米線。

2、氧化鎢納米線氨敏感測器由如下方法製備：

(1)配製氣敏材料漿料

以上述製備得到的氧化鎢納米線為主要材料，以乙基纖維素和松油醇為粘合劑，並添加 玻璃料以增強敏感材料和氧化鋁基板之間的粘附力，將上述材料混合並攪拌均勻後制得敏感 材料漿料。

(2)元件燒結

將上述(1)中的漿料絲網印刷在被有銀電極和引線的氧化鋁基板上，在70℃的空氣中充 分乾燥，在箱式爐中於300～500℃的溫度下燒結1～2小時，制得氧化鎢納米線氨敏感測器 元件。

(3)元件老化

將上述(2)中燒結後的氨敏元件在300℃下老化72小時製成待測氨敏元件。

氧化鎢氣敏感測器整個製備過程的能源消耗非常少，製備的氧化鎢納米線具有大的比表面積，而且由該納米線製備的氧化鎢氨敏感測器對低濃度氨氣(1～100ppm)具有很高的靈敏度、良好的重複性和很高的穩定性。

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