高性能氮化镓基发光二极管与图案的硅铝复合钝化层和备氧化钛/氧化铝DBR反射镜背面图案化蓝宝石基板

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年3月07日星期五 10:12; 点击数：2249

氮化镓基发光二极管（LED）上的图案化蓝宝石基板（ PSS）与图案的复合二氧化硅/氧化铝钝化层和氧化钛/氧化铝分布布拉格反射器（DBR）反射镜的背面已经提出并制造。高度钝化的氧化铝层上沉积铟锡氧化物（ITO）具有优良的均匀性和质量层已经实现了用原子层沉积（ALD）技术。以60毫安的电流注入， 21.6％， 59.7 ％，而在460毫微米波长的光输出功率（LOP ）63.4 ％的增强，实现了用于LED的复合图案的氧化硅/氧化铝的钝化层，在与图案化的复合材料的氧化硅/氧化铝的钝化层和Ag反射镜+ 3 - 对二氧化钛/二氧化硅的DBR反射镜的背面，并且LED指示灯用图案化的复合二氧化硅/氧化铝钝化层和Ag +镜3对ALD生长的二氧化钛/氧化铝的DBR反射镜的背面与以往相比仅由单一的氧化硅钝化层。

定期三角棱锥阵列由一个低成本，高效率的激光干涉光刻技术（ LIL ）系统成功制备在蓝宝石衬底上。通过干法刻蚀和湿法刻蚀技术相结合，所述纳米级图案化蓝宝石基板（ NPSS ）具有均匀尺寸的准备。的图案的周期为460nm的作为设计匹配的蓝色光波长的发光二极管（LED）。通过改善LIL系统的稳定性和优化的工艺参数，定义良好的三角形截棱锥阵列可以与50.8毫米直径的蓝宝石衬底上实现的。三角形截棱锥阵列的底部宽度的偏差为6.8 ％，这是接近3％的工业生产水平。

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