通过热化学氮化方法制得的改性的氮化铝/蓝宝石基板的表面的形态

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年2月27日星期四 11:28; 点击数：2615

蓝宝石是最广泛使用的基板为基于氮化物的氮化镓、氮化铟、氮化铝和它们的固溶体的技术设备能力的材料。然而，氮化物的异质外延的蓝宝石衬底上导致高的位错密度和其他结构缺陷，由于在晶格参数以及这些材料的热膨胀系数的差异，以该方法。这实质上是异质结构复杂，高功能特性的获得。由于商业生产的基板为同质外延生长的是昂贵的，许多注意力被支付到现今使用改性蓝宝石衬底与缓冲层的氮化物（氮化镓/蓝宝石或氮化铝/蓝宝石模板），其发挥的固有氮化准基板的作用。已经开发出一种新方法的氮化铝/蓝宝石模板基于蓝宝石含有氮气，一氧化碳，二氧化碳，氢气，水分子与二氧化钛和水分子的低浓度混合气体氮化的获得。

此方法允许获得极性的氮化铝 / /氧化铝，氮化铝/ /氧化铝），半极性（氮化铝/ /氧化铝）和非极性（氮化铝/ / 氧化铝）的结晶性的氮化铝蓝宝石的表面上的层。20-30纳米的和几微米之间的厚度范围内，摇摆曲线的半宽度小于1°。在对比中，外延膜是使用外部信号源获得的，在给定的方法氮化铝层众所周知的沉积方法是由于氮在阴离子不足刚玉其次晶体的化学转化的蓝宝石的表面相邻的层中的溶解形成基材。因此，在氮化物层是刚玉减少随后在基片表面的蚀刻阶段之后形成。本工作的目的是要建立减少氮化铝/蓝宝石模板表面的形貌蓝宝石基板退火的影响规律。

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