蓝宝石衬底的等离子体预处理氮化镓外延

分子束外延（MBE ）生长的氮化镓的蓝宝石上的层的晶体品质在很大程度上取决于膜的成核和生长的初始阶段。因此，预处理衬底是非常重要的。使用X-射线光电子能谱（XPS）和低能量电子衍射（LEED）原位研究为在退火后在超高真空和暴露于射频（RF）表面清洁和c-面蓝宝石衬底的氮化的情况下氢气和氮气等离子体的分离发现在氢等离子低温（ 200-300 ℃）的热处理提供有效的去除表面的外来污染物违背了退火在真空中此外XPS数据后在氮等离子体热处理形成表面氮化物在300-700 ℃下提供明确的证据，结论与从反射高能电子衍射（RHEED）推断协议。表面氮化发现将保持稳定在随后暴露于大气中。

二次谐波产生的周期性极化氮化镓由一阶quasiphase匹配。在周期性极化结构中生长用等离子辅助分子束外延。观察到约9 μW二次谐波功率从1658.6 nm的一个基本输入激光的波长与12.76 ％的W -1厘米²的归一化转换效率。通过周期性极化和氮化镓具有非常宽的透明窗口的事实来执行非线性波长变换，铺路氮化镓将用于非线性光学器件在电信以及一个非线性的光源，用于生化检测在远的能力红外和远紫外线。


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