蓝宝石衬底对氧化锌薄膜的磁控溅射生长性能的影响退火

蓝宝石衬底上用直流磁控反应溅射外延生长氧化锌薄膜质量的退火效应进行了研究。通过高温退火形成在蓝宝石（α- Al2O3）的衬底表面上的原子台阶的原子力显微镜进行分析。他们对氧化锌薄膜生长的影响进行了检查， X射线衍射和光致发光测量。实验结果表明，膜质量有显着影响的蓝宝石衬底表面的退火处理。蓝宝石衬底的氧化锌的最佳退火温度磁控溅射是1400 ℃，在空气中1小时。

垂直对齐的单晶氧化锌纳米棒已经成功地制造在通过一个气 - 液 - 固过程中半导体的氮化镓，Al0.5Ga0.5N和氮化铝基板。近乎完美对齐，观察所有无基材横向生长。室温光致发光测量显示较强的发光峰在378 nm处。这项工作表明生长氧化锌纳米棒异质结阵列上的铝 x 镓 - X氮 ，其具有从3.44到6.20电子伏特，通过改变铝组分从0到1的可调带隙的可能性，并打开一个新的信道建立垂直对准的异质结器件阵列具有可调的光学特性并实现了一类新装置中的。


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