氧化锌在蓝宝石上异质外延中化学气相沉积取向关系

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2013年12月25日星期三 11:44; 点击数：2511

用CVD法在氧化锌中的异质外延生长的各向异性进行了研究球面和透镜形状的蓝宝石基板上。氧化锌的层形成含有的各种取向的单结晶许多地区的地图。通过结合等效类型这些地区，在氧化锌和蓝宝石之间的方位关系，六种不同的模式进行区分和分类。还研究了生长温度和对多种气体的反应速度和这些区域的程度的影响。结果，通过立体投影画，可提供用于选择和准备基板飞机取得高品质，即表面光滑，完美的高，高电子迁移率等具体的氧化锌的实用指南。

化学气相蓝宝石上（SOS）的低温沉积硅0.25 μm厚植入28Si +和通过炉内退火（FA ），并在实验室红外快速热退火（RTA）进行重结晶在固相上。可以同时使用退火方法得到的结晶质量的改善。 FA之后，就很难保持固有的高电阻率值（ Ω 104-105厘米）中观察到的生长的SOS膜，所以改进的过程，不能投入实际使用有效。然而，可以证明，通过适当地调节注入和RTA的条件下，在两种膜质量和膜自动搀杂显著改善可以完成。这项工作介绍了改性双固相外延，其中作为土生土长的SOS薄膜的内在高电阻率被保留的过程。抑制铝自掺杂的机理进行了讨论。

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