单晶氧化锌膜的光学特性顺利化学气相沉积在蓝宝石上intermediately溅射的薄氧化锌薄膜

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2013年12月16日星期一 11:48; 点击数：2062

氧化锌的Br2-O2 ，氯化锌-02 ，和ZnO-H2-H2O-O2化学气相沉积（CVD）系统的研究，以获得对蓝宝石单晶氧化锌作为生长的光波导。该波导是由氧化锌的蓝宝石上的非常薄的溅射沉积的外延层通过使用在ZnO-H2-H2O-O2等温化学气相沉积系统。在垂直于氧化锌薄膜的c轴方向获得的TE0模式传播损耗最小为0.7分贝/厘米。氧化锌对薄溅射的氧化锌膜此化学气相沉积给出了带状光波导的蓝宝石的制造方法，由于在溅射沉积的ZnO片的氧化锌薄膜的选择性生长。

化学气相蓝宝石上（SOS）的低温沉积硅0.25 μm厚植入28Si +和通过炉内退火（FA），并在我们的实验室红外快速热退火（RTA）进行重结晶在固相上。可以同时使用退火方法得到的结晶质量的改善。 FA之后，就很难保持固有的高电阻率值（ Ω 104-105厘米）中观察到的生长的SOS膜，所以改进的过程，不能投入实际使用有效。然而，可以证明，通过适当地调节注入和RTA的条件下，在两种膜质量和膜自动搀杂显著改善可以完成。这项工作介绍了改性双固相外延，其中作为土生土长的SOS薄膜的内在高电阻率被保留的过程。抑制铝自掺杂的机理进行了讨论。

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