研究蓝宝石表面制备的Ⅲ族氮化物异质外延生长的化学处理

用硫酸、磷酸，和3:1的硫酸的蓝宝石衬底的腐蚀：磷酸的混合物，如温度和蚀刻时间的函数，进行了系统的使用原子力显微镜研究。蓝宝石制备用液基蚀刻用H2蚀刻相比于在1400℃ 1100 ℃，空气中退火在液体为基础的治疗，是通过在300 ℃，30分钟蚀刻在纯硫酸获得最流畅的，坑的表面。硫酸蚀刻在更高的温度或更长的时间产生的硫酸铝和硫酸铝的表面上3⋅17H2O结晶沉积的不溶性混合物。

磷酸和3:1的硫酸：磷酸的混合物，它是用于蓝宝石制备的常规使用化学处理，蚀刻在蓝宝石优先在缺陷位点，导致在表面上形成凹坑。使用氢气在1100℃的蓝宝石治疗没有去除表面损伤。空气退火的蓝宝石，在1400 ℃下进行1小时，产生的原子级平滑表面上，包括一个平台和台阶结构的。本研究的结果在蓝宝石蚀刻过程的化学的角度进行了描述。


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