蓝宝石长晶炉的国内现状

台湾与中国厂商的蓝宝石长晶技术基本主要来自俄罗斯和乌克兰。就技术差别来看,美国Rubicon采用ES2技术,在蓝宝石生长炉2009年公司宣布成功生长出"世界上最大的蓝宝石晶体",重量高达200kg,可用以切出12吋蓝宝石基板,Rubicon宣称ES2技术产品缺陷率低于其它技术。美国Crystal Systems则采HEM热交换法,日本厂商则多以拉晶(Czochralski Method,CZ 法) 与导模法为主(Edge-defined Film-fed Growth,EFG法),俄罗斯以KY法(Kyropulos Method,又称泡生法)为主,台湾与中国厂商长晶技术主要源于俄罗斯KY法,俄罗斯长晶技术转让费低,规模化生产后成本仍具吸引力。

目前蓝宝石基板仍多以CZ法与KY法为主流,蓝宝石基板以2-4吋为主,基于成本因素与设备厂商开发进程,预估短期转至6-8吋机率仍较低。


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