泡生法蓝宝石结晶炉走水电极

导电电极（走水电极、长晶炉主导电体）是蓝宝石长晶真空炉的重要部件之一，是炉内加热热场与炉外电源连接的唯一通道；在炉内与热场（鸟笼）直接搭接，延伸到炉外的导电柱通过导电夹、软连接与电源柜连接。
该部件的结构复杂，精度要求高，加工难度较大，主要体现如下：

（1）导电柱与炉盖的结合：

导电电极是置放在蓝宝石长晶真空炉膛内，要穿过炉盖与外部电源连接，所以电极4个导电柱之间的公差要求极其严格，需要和炉盖上的4个孔位距离完全一致。如有误差，将无法装配。

（2）导电电极在加工过程中变形的问题：

电极是由纯铜原料加工而成，从原材料到成品，要经过很多道繁琐工序，每道工序都会产生应力，故容易变形。尤其是在最后的焊接工序中，因为焊接过程产生的热量会使应力释放，工件很可能因此而造成严重变形，精加工的所有公差尺寸都会受到影响，且无法恢复进行重新调整。

（3）电机冷却水的走水密封：

电极的截流能力远远大于导电要求，故导电电极自身不会发热，但真空长晶炉内虽有隔热装置，但还是有较高的温度传导到电极。加热热场的电热丝通过导电环会直接把热量传导到电极上。所以电极必须要通水冷却来保证电极的正常工作，真空长晶炉是高温高真空的工作环境才能有效长出晶体。故对电极的主体与导电柱、走水槽封板、工艺孔堵头部分的焊接有非常严格的要求。既不能因焊接降低导电率，又绝对不能有任何细微的渗漏，否则就达不到真空要求，长不出晶体。


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