制备三氧化钨掺杂薄膜

三氧化钨（WO₃）掺杂薄膜是一种优良的氢敏材料，因其具有良好的电致变色、气致变色、光致变色、电化学性能而得到广泛的研究和应用，尤其是其气致变色性能在气体传感器方面有广阔的应用前景。在铂（Pt)、钯(Pd)等稀有金属的催化下，WO₃薄膜对H2在常温下就具有良好的气致变色效应，是一种重要的功能材料。

用溶胶凝胶法和直流磁控溅射法相结合制备的掺Pd（或Pt）三氧化钨薄膜的晶化温度比纯的三氧化钨薄膜晶化温度高，在460℃下退火处理后才有少量的晶态结构存在；分光光度计测试结果表明：纯WO₃凝胶薄膜有很高的透光率（>90%），但掺钯或掺铂后薄膜透光率下降明显；且在相同条件下制备的掺钯的薄膜比掺铂的薄膜的透光率要高些；掺铂薄膜样品在100℃、200℃、300℃、400℃、500℃退火处理后的透光率随着退火温度的升高，薄膜透光率逐渐降低，这与不掺杂的三氧化钨薄膜具有相同的性质。

三氧化钨基掺Pt（Pd）薄膜的制备建立在溶胶凝胶法和直流磁控溅射法相结合的方法，在钨酸溶胶的制备中，加入H₂O₂、乙醇能增强钨酸溶胶的稳定性。当H₂O₂与钨酸的摩尔比为1：2，乙醇与钨酸体积比为1：2时，溶胶的保存时间较长，成膜质量可以起到保鲜效果。
三氧化钨表面在100℃退火处理后变得比较平整，其分子呈四面体结构，三氧化钨分子转变为立方体结构在经过400℃退火处理后表面变的更加平整，三氧化钨分子转变为立方体结构。

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