电子特气六氟化钨

电子特气，即电子特种气体，是工业气体行业的细分行业之一，是集成电路、平面显示器件、半导体晶圆、太阳能电池等电子工业生产过程中不可或缺的关键原材料。其中，六氟化钨（WF6）是目前钨的氟化物中唯一稳定并被工业化生产的品种。

六氟化钨，分子量297.84，沸点17.5℃，熔点2.3℃，在气体形态时一般为无色，有毒，具腐蚀性，为密度（13g/L）最大的气体之一，其化学性质活泼。几乎能和除金和铂外所有金属反应。

六氟化钨在电子工业中一般作为金属钨化学气相沉积（CVD）工艺的原材料，特别是用它制成的二硅化钨（WSi2）是一种高性能的导电陶瓷材料，可用作大规模集成电路中的配线材料。此外，六氟化钨还可以作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。

随着电子工业的加速发展以及电子产品的不断更新迭代，市场对于原材料六氟化钨的产能有了更大的需求，同时也对其纯度提出了更高的要求，一般在99.99%以上。目前全球各国正在积极拓展六氟化钨的产能与产品质量以及下游应用领域。作为钨资源大国，中国自然不会落后。

河北省在《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》中提出，将依托中船重工718所，加快发展三氟化氮、六氟化钨等显示、集成电路用特种电子气体材料，建设国内领先的新型功能电子材料产业化基地。

据悉，河北省六氟化钨产品规模居世界第一，2020年河北省国集成电路制造增加值同比增长64.9%。

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