中国严重依赖进口的真空蒸镀机为何离不开钨加热子？

真空蒸镀机是中国严重依赖进口的产品之一，殊不知，该设备的生产原材料离不开中国的矿产资源，如钨、钼、稀土等重要的战略金属。据中钨在线了解，真空蒸镀机的靶材常选用钨加热子来制备，节能提质，可以制造出如纸一样轻薄的各类终端屏幕。

现在，我们所使用的计算机、智能手机等各种电子产品的屏幕的主要生产原料都是OLED（有机发光二极管），而OLED生产过程最重要的一环就是“蒸”，工艺难度极高。除了蒸镀设备是OLED生产中的关键环节之外，制造商还应对整个生产链进行科学管理及整合，确保每一道工序可控、可靠。

真空蒸镀机就如同OLED面板制程的“心脏”，目前被日本Canon Tokki独占高端市场。据业内人员表示，Canon Tokki的真空蒸镀机年产量通常在几台到十几台之间。更值得一说的是，该公司能把有机发光材料蒸镀到基板上的误差控制在5微米内（1微米相当于头发直径的1%），以确保所制备的OLED屏幕拥有更高的质量。因此，大家都说，买到Canon Tokki的设备就如同得到了一张生产OLED面板的“入场券”，一机难求。

真空蒸镀机的工作原理是指在10E-3~10E-4 Pa的压力下，采用各种形式的热能转换方式护镀膜材料蒸发，并成为具有一定能量的气态粒子（原子、分子或原子团），蒸发的气态粒子基本上是以无碰撞的直线运动方式传输到基底，然后在基底上凝聚成镀膜。

在真空蒸镀时，气态粒子是由蒸发源中的蒸发材料产生的，而蒸发源的加热可以采用电阻法、高频感应法、电子束轰击法、激光蒸发或放电法等。然而，不论是哪一种加热方式，都要求作为蒸发源的材料应具有以下几种性能：高熔点，低蒸气压，良好的热化学稳定性，较高的机械强度等。

作为难熔金属之一，钨具有极高的熔点和沸点，分别为3410℃和5927℃，以及很低的蒸气压，优良的化学稳定性，较高的强度和硬度等优点，因此常用来作为蒸发源的材料，即为钨加热子。

使用金属钨作为蒸发源的材料的优势主要有：（1）较低的能源消耗，钨因有较高的熔点而能承受极高的温度，不易熔化，而且钨的蒸气压很低，也能在很大程度上减少不必要能量的浪费；（2）较好的蒸镀效果，钨由于物理化学性质极为优异，而不会与蒸发材料发生化学反应或互溶，进而能使所制备的产品精度更高、均匀性更好。

作为全球钨的主要生产国，中国钨资源的储量占世界总储量的70%左右，钨产量占世界总产量的80%。换句话来说，全球每年钨工业消耗的钨资源很大一部分是来源于中国。

综上可知，我国虽然目前还未具备生产真空蒸镀机的能力，但能为该设备提供关键的生产原材料，如作为蒸发源的钨材料。

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