电子枪灯丝，如何在电子束蒸镀中发挥作用？

什么是电子束蒸镀？

电子束技术的发现，使人们能够使用低能耗、大电流电子束技术处理金属表面。可以说，21世纪，电子束蒸镀技术让薄膜生产的水平更上一个台阶。

电子束蒸镀是物理气相沉积的一种形式，其中作为涂层的材料如金、银、铂等受到带电钨丝的加热，蒸发并转化为气态，这些在气相中的原子或分子漂浮在高真空室中，然后在物品表面形成薄膜涂层。

蒸发的电子束方法对于装饰性和功能性金属都非常重要，可以蒸发各种材料，包括难熔金属、低蒸气压金属和各种合金。由于电子束方法将大量的热量集中在很小的区域上，因此可以实现高沉积速度，这是任何以生产为导向的工厂都感兴趣的点。

电子束蒸镀流程：

1、钨丝被加热直到发射出电子；

2、电子离开电子枪；

3、光束被磁铁聚焦并弯曲；

4、光束作用在蒸发物的表面上，引起热量和蒸发；

5、蒸气冷凝在被蒸镀物品表面上。

整个蒸镀的过程中，钨丝即电子枪灯丝起到非常重要的作用。电子枪灯丝由纯钨制成。在所有金属中，钨的熔点最高，在1650℃以上的温度下蒸气压最低，具有很高的拉伸强度，热膨胀系数也很低。此外，电子枪灯丝比较便宜，易于维护。用户可自行更换它们，无需进行持续的外部维护。就像灯泡灯丝一样，由于持续性工作，它们逐渐被蒸发并最终断裂，寿命很短。

与其他PVD工艺相比，电子束蒸镀还具有很高的材料利用率，降低了成本。电子束系统仅加热目标源材料，而不加热整个坩埚，从而降低了坩埚的污染程度。通过将能量集中在靶材而不是整个真空室上，它有助于减少热损伤基材的可能性。可以使用多坩埚电子束蒸发器在不同的目标材料上涂覆几层不同的涂层，而不会破坏真空镀。

由于高的沉积速度和高的材料利用率，电子束蒸镀有各种应用，从高性能航空航天和汽车行业到耐用的刀具硬质涂层，以及用于化学屏障和涂料，可保护腐蚀性环境（如船舶配件）中的表面。

• < 上页
• 下页 >