我国自主研发可放大2万倍钨灯丝扫描电镜

11月29日，国仪量子与无锡量子感知研究所联合举办“扫描电镜新品发布会”，发布了多年攻关、自主研发的系列新品“扫描电子显微镜SEM3000”。在此前首次亮相的全国电子显微学学术年会上，其标准版扫描电镜SEM3000获得了行业专家的高度肯定。

标准版扫描电镜SEM3000是一款使用钨灯丝的高性价比扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构，放大倍数可达20000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率优于25nm，在自动五轴样品台的配合下，非常适用于生产品质控制及样品筛选，适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。

专业版扫描电子显微镜SEM3000S的放大倍数可达150000倍，基于优秀的电子光路设计及新型聚焦系统，其分辨率轻松优于10nm。在100mm全自动五轴样品台的配合下，它是科研及新材料研发的得力助手。

扫描电子显微镜的原理是利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。钨灯丝扫描电镜通过对电子枪内的钨灯丝加高电压，使电子枪处于热激发状态，在阳极作用下，处于热激发的电子枪就可以激发出电子束。经过扫描线圈磁场的控制，电子束在样品表面逐点扫描，激发出二次电子、背散射电子等物理信号，经探测器收集、放大器放大后，调制得图像。钨灯丝扫描电镜适合大量的常规检测。

据了解，钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大，抗干扰能力和稳定性都较好，低真空下可以对不导电样品无荷电成像，可用于形貌观察、显微结构分析、断口形貌分析，在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学、半导体等领域都有广泛的用途。不过，由于电子显微镜中的扫描电镜具有较低程度的真空度，而且电子束流大，因此扫描电镜中的钨灯丝的使用周期比较有限，需要定期维护、保养与更换。

目前我国的扫描电子显微镜主要依靠进口，国产电子显微镜产品已被边缘化。国外几大厂商联手垄断，多年来严重制约着中国自身电镜市场的培养和制造业产业升级的需要。面对行业现状和基础研究和应用研究需求，无锡量子感知研究所、国仪量子抓住契机，加大科研投入，组成由多学科专家参与的研发团队，自主研发出完全国产化的SEM3000系列扫描电镜，引领我国电镜行业的良性发展。

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