制备氧化钨薄膜-溶胶凝胶法

制备氧化钨薄膜的方法有很多,根据薄膜的性质与制备方法及工艺条件,用不同方法制备的氧化钨薄膜在尺寸和晶型等方面有所不同,最常见的方法有溶胶凝胶法。

制备氧化钨薄膜-溶胶凝胶法,是将无机盐和金属醇盐溶于溶剂中通过搅拌等方式制得均匀的溶液,溶质与溶剂产生水解反应,水解经缩句反应生成颗粒并形成溶胶,在制得溶胶的基础上,可以采取浸渍提拉,旋转涂覆、喷雾裂解、丝网印刷等工艺过程制得氧化钨薄膜。

首先将纯度99%的金属钨粉溶解在30%的双氧水溶液中,由于反应放热,需把盛溶液的烧杯置于冰水中不断搅拌,并在溶液中加入铂电极以加快双氧水分解,接着把溶液防腐烘箱中60℃干燥30h,得到一种黄色的玻璃态固体。取2g淡黄色固体溶解在15ml无水乙醇中,添加微量乙酸作为催化剂得到过氧钨酸溶胶,溶胶温室下静置几天,使用浸渍提拉法镀膜,镀膜后样品在大气环境下自发水解凝聚得到氧化钨薄膜。


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