在氮化镓载流子浓度和迁移率外延层上研究了红外反射光谱蓝宝石衬底

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年1月28日星期二 11:58; 点击数：2583

有机金属化学气相载流子浓度和迁移率的测量沉积的氮化镓薄膜的蓝宝石衬底上通过红外反射法。通过与实验数据拟合得到的晶格振动的振荡器和的等离激元的所有参数。从等离子体频率和阻尼常数，我们得到的载流子浓度和电子迁移率。与霍尔数据的浓度非常吻合，而迁移率的值是比该霍尔测量由约0.5的因子较小。我们认为这样的流动性降低到散射与入射的光子耦合的电子的增加。

氮化镓层是通过电子回旋共振分子束外延法（ ECR- MBE法），使用ECR等离子体细胞与细胞顶端为氮源离子去除磁铁生长在蓝宝石衬底上。离子去除磁铁在此ECR等离子体单元的效率是99％。高质量的氮化镓层而异。特别是（2×2 ）和（4 ×4 ） RHEED （反射高能电子衍射）图案在氮化镓生长和生长后的冷却，分别表示氮化镓的平坦和光滑的表面过程中观察到。这些结果显示了离子除去ECR等离子体单元的优越性。

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