钨抛光液其制备方法

本发明提供一种钨抛光液。其特征在于它是由磨料、氧化剂、ｐＨ值调节剂、螯合剂和去离子水混合组成，其中磨料占总重量的１０％～５０％，氧化剂占总重量的０．０１％～６％，ｐＨ值调节剂占总重量的１％～６％，螯合剂占总重量的０．０１％～１％，去离子水占总重量的３７％～８８．９８％，抛光液ｐＨ值范围为１１～１２，粒径为１５ｎｍ～１００ｎｍ。其制备方法为取料、过滤净化、搅拌、混合均匀即可。

本发明提供的钨抛光液的优越性在于：

抛光液是碱性，不腐蚀污染设备，容易清洗；金属层钨抛光速率快，可控性好，抛光后平整性好；使用不含金属离子的螯合剂，对有害金属离子的螯合作用强；工艺简单，成本低。

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